豊橋技術科学大学は12日、次世代半導体・センサー科学研究所「ＩＲＥＳ²（アイリス）」の新工場とオープンラボの開所式を開いた。半導体人材の育成や産学官金連携の拠点とする。

新工場の大規模クリーンルーム＝豊橋技科大で

　研究所は技科大敷地内にあり、新工場とオープンラボを含め５棟からなる。半導体の研究や、半導体を使った先進的な実験装置を駆使する基礎研究部門と、半導体の設計、制作、評価ができるＬＳＩ（大規模集積回路）工場、研究を応用展開する社会実装部門などを備えている。

　新工場の４号棟は、これまで研究開発機能を担っていた２号棟を規模拡大した。延べ約２０００平方㍍。ＬＳＩ製造に欠かせない大規模クリーンルームを備えている。

　半導体を作るためには、シリコンウェハー（ケイ素でできた円盤状の基板）が欠かせない。これに印刷や撮影の技術を応用し、さまざまな回路を書き込んで、小さなチップに切り分けて使う。

　半導体の発展に伴い、ウェハーも大面積化が進んでいる。１枚のウェハーに書き込める回路の数が多いほどコストダウンにつながる。

製造されたシリコンウェハー

直径８㌅「ウェハー」対応

　これまで２号棟では研究レベルや規模の小さい半導体デバイスで一般的な直径４㌅までのウェハーしか扱えなかった。４号棟では半導体製造で広く使われている直径８㌅のウェハーを扱える。

　オープンラボの５号棟は企業向けの個室研究室12部屋や共創スペースを備える。アイデア創出から技術相談、実証までができる。

個室研究室が並ぶオープンラボ

　式典には国や県、市の産業技術関係者や半導体産業に携わる企業の社長ら約１００人が出席した。若原昭浩学長は「新施設を活用し、世界レベルの研究開発をさらに推進していくとともに、『産学官金連携』のイノベーション・コモンズ（共創拠点）を形成する。スタートアップから大企業まで集まる場にし、『見える化』をしてイノベーションにつなげ、構想を実装化、製品展開まで可能とする運用体制を構築していきたい。半導体に関係するスタートアップや地域経済の活性化に貢献し、未来社会をリードする半導体の拠点を目指したい」と述べた。

若原学長㊧らによるテープカット

　来年度末までに、施設整備を進めながらオープンラボや施設機器の利用環境を整える。アイリスの澤田和明所長は「半導体を設計から試作、製品製造までできる。教育だけでなく、人が集まる場所にしたい。半導体ネットワークを作ってほしい」と語った。

　式典後には施設見学会と、産業技術総合研究所の益一哉氏による記念講演「知と志の交差点としての大学　アジャイル・ダイナミック時代の未来創造」があった。その後は、交流会が開かれた。